営業品目

研磨技術装置

• エッチング・ポリッシング装置
• グラインディング装置
• グラインディング・ポリッシャー(複合研磨装置)
• ケミカル・エッチング・ポリッシャー(CEP)
• ラッピング / ポリッシングマシーン(研磨機)
• チラーユニット(水冷加湿循環装置)
• ルブリカント(潤滑)
• シリカ入れ酸化セリウムスラリー(研磨材)
• アルミナスラリー(研磨材)
• ダイアモンドパウダー(研磨材)
• ダイアモンドスラリー(研磨材)
• 錫定盤(ラッピングプレート)
• ナノドリッパー(砥粒供給装置)

洗浄 / アイスクリーン技術・装置

• アイスクリーン装置(ドライクリーニング洗浄システム)
• ノズルユニット(高圧炭酸ガス噴射ノズル)
• 枚葉式エッチング・ラッピング洗浄装置

その他

• 砥粒供給装置
• 水封式真空発生装置
• 各種消耗品 / 治具工具 / 砥石 / キャリア / ポリッシングパッド
• サファイア研削用砥石
• ラッピング・ポリッシング受託加工(シリコン・サファイア等)
• 錫プレート製造用貼付機
• ウェーハ薄厚研磨受託加工
• 研磨加工技術指導 / 顧問
• 技術講演 / コンサルティング