技術紹介

フェムテックの技術分野と役割

このようなものを磨きました。研磨加工装置を製造した研磨実績のあるワークです。

CEP

CEPとは、当社による命名で、CMPに替わる次世代の装置名称です。 現在、ウエハの極薄化、極小化が、大きな課題となっている中、ラッピング理論をエッチングに応用して、ウエハの極薄化を実現しうる装置を開発しております。

静圧軸受

ラッピングマシーン・ポリッシングマシーンの殆どは、エアーベアリングを使用しています。エアーベアリングは、高速回転に向くものの、荷重に弱いのが特徴です。しかしながらラッピングマシーン・ポリッシングマシーンへのニーズは、低速回転であり、また高荷重も求められるワークも増えてきました。 こうしたニーズに応えるのが、オイルや水による静圧軸受です。

リフトオフ装置

バリの除去を実現するために、当社では、ドライアイスによるアプローチを試みました。ドライアイスの特徴は、固体から気体へと昇華すつことです。このことにより液体で洗浄する場合と比較して多くのメリットを得られます。

技術紹介 講演資料

PDF講演ダメージフリー研削砥石.pdf